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陶瓷吸盤

時間:2019-12-05   瀏覽次數(shù):2296次

設(shè)備名稱:
陶瓷吸盤
廠家:

型號:
圓型/方型
年份:

設(shè)備狀態(tài):
















多孔吸盤(吸附工作臺)是指使用于半導(dǎo)體制造階段,組裝在Dicing saw(劃片機)或檢查裝置上的部件。是能夠利用工作臺表面的多孔質(zhì)構(gòu)造與負(fù)壓,使薄硅片等能夠保持平面的產(chǎn)品。Dicing saw(劃片機)以20μm左右的寬幅切割硅片,所以對于晶圓吸附面的平面度平行度要求非常高。

多孔吸盤的規(guī)格:

形狀:圓形、方形、圓柱形、特殊形(可制作各種形狀

本體材質(zhì):不銹鋼、鈦合金、鋁、陶瓷

多孔體材料:陶瓷、不銹鋼、碳、PTFE
尺寸:圓型 (φ5㎜~φ500㎜)
     方型(□5mm~□350mm)

本體表面處理:氟樹脂加工、耐酸鋁、防銹黑色膜LD處理、無電解鍍鉻

多孔體材料:3μm~580μm


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