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設(shè)備名稱: |
陶瓷吸盤 |
廠家: |
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型號: |
圓型/方型 |
年份: |
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設(shè)備狀態(tài): |
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多孔吸盤(吸附工作臺)是指使用于半導(dǎo)體制造階段,組裝在Dicing saw(劃片機)或檢查裝置上的部件。是能夠利用工作臺表面的多孔質(zhì)構(gòu)造與負(fù)壓,使薄硅片等能夠保持平面的產(chǎn)品。Dicing saw(劃片機)以20μm左右的寬幅切割硅片,所以對于晶圓吸附面的平面度平行度要求非常高。
多孔吸盤的規(guī)格:
形狀:圓形、方形、圓柱形、特殊形(可制作各種形狀)
本體材質(zhì):不銹鋼、鈦合金、鋁、陶瓷
多孔體材料:陶瓷、不銹鋼、碳、PTFE
尺寸:圓型 (φ5㎜~φ500㎜)
方型(□5mm~□350mm)
本體表面處理:氟樹脂加工、耐酸鋁、防銹黑色膜LD處理、無電解鍍鉻
多孔體材料:3μm~580μm