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設(shè)備名稱: |
法蘭 |
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廠家: |
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型號(hào): |
20μm |
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年份: |
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設(shè)備狀態(tài): |
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鈦合金法蘭是指主要用于半導(dǎo)體制造階段，組裝在Dicing saw（劃片機(jī)）上的部件。
切割硅片需要有一個(gè)薄刀片（切削刀具）。
為了加工成品率極高的產(chǎn)品，刀片必須要薄（厚度在20μm左右）、而劃片機(jī)上支撐法蘭與刀片的主軸是高速運(yùn)轉(zhuǎn)著的。因此法蘭的材質(zhì)要使用輕薄且高剛性的鈦合金材料。
為了防止Chipping(毛刺)等劃片機(jī)加工不良現(xiàn)象，對(duì)于法蘭偏差精度有非常高的要求。
正面
側(cè)面
反面
規(guī)格：
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偏差精度 |
4μm以下 |
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斜面倒角 |
80％以上 |
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本體形狀 |
可配合各種刀片形狀，主軸形狀來(lái)加工。也可應(yīng)用于除劃片機(jī)以外的設(shè)備（斜向或筆直的主軸形狀）。即使沒(méi)有零件圖，只要有樣件或簡(jiǎn)單的構(gòu)思圖或規(guī)格，由我們來(lái)繪圖并制作成品交貨。 |
