eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的「中空纖維透氣膜」補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置?？傻玫椒乐挂蜢o電引起的「灰塵再次附著」和基板圖形的防「靜電破壞」的效果。

特征

n由于結(jié)構(gòu)簡單，故障少

n采用獨特的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良

n二氧化碳供氣模組的壽命長（保證期限為5年，本公司制）

主要用途

n掩模、網(wǎng)袋的清洗 n洗滌器清洗 n高壓噴射清洗 n切割工序的清洗 n槽清洗

產(chǎn)品陣容

Cabinet Type（C Series）

C Series附帶可裝入2個CO2氣瓶的機柜。電阻率傳感器內(nèi)置于機柜內(nèi)，可通過eFLOW直接把水管連接使用場所。

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