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P Series

時(shí)間:2019-12-05   瀏覽次數(shù):3177次

設(shè)備名稱:
eFlow Series
廠家:
DIC GROUP
型號(hào):
P Series
年份:
now
設(shè)備狀態(tài):
new











FLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的「中空纖維透氣膜」補(bǔ)充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。可得到防止因靜電引起的「灰塵再次附著」和基板圖形的防「靜電破壞」的效果。

特征


n由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障少

n采用獨(dú)特的配管分配方式,易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良

n二氧化碳供氣模組的壽命長(zhǎng)(保證期限為5年,本公司制)

主要用途


n掩模、網(wǎng)袋的清洗   n洗滌器清洗   n高壓噴射清洗   n切割工序的清洗   n槽清洗

產(chǎn)品陣容

Panel mount Type(P Series)


P Series可安裝在符合EIA(美國(guó)電子工業(yè)協(xié)會(huì))規(guī)格的支架上。1AP型為標(biāo)準(zhǔn)機(jī),連接部全清潔規(guī)格,2AP型為選購件,可對(duì)應(yīng)全清潔規(guī)格。


處理流量(L/min) 型號(hào) 模組
1-16 1AP-B02 PF-001L-NA 1個(gè) 1module
5-30 2AP-B01 PF-001L-ND2 2個(gè) 2modules
10-50 3AP-B01 PF-001L-ND3 2個(gè) 2modules


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